上虞这家企业15年坐稳国产半导体材料装备头把交

来源：功能材料与器件学报 【在线投稿】栏目：综合新闻时间：2021-03-29

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摘要：日前，浙江晶盛机电股份有限公司第台全自动单晶炉成功下线。这是晶盛机电继2007年春推出国内首台TDR80A全自动单晶硅生长炉，打破国外技术垄断之后的又一次标志性突破：在国产半

日前，浙江晶盛机电股份有限公司第台全自动单晶炉成功下线。这是晶盛机电继2007年春推出国内首台TDR80A全自动单晶硅生长炉，打破国外技术垄断之后的又一次标志性突破：在国产半导体材料生长装备领域以绝对性优势拿下了技术与规模的“双冠军”。

而就在今年3月初，晶盛机电拿下了总额达20.79亿元的单晶炉及智能化加工设备订单，并与日本老牌半导体零部件制造商开启合作，剑指半导体材料装备核心精密部件的国产化。

2006年初冬，

“蜗居”于汤浦达郭一幢出租厂房内的

20余人浙大师生团队成为晶盛创业的起点，

也为企业烙下了深厚的创新基因。

15年来，

它就像一个朝气蓬勃的少年，

扛起半导体材料装备国产化的旗子。

从纵向看，15年来，晶盛机电经历了单晶炉的四代更迭，从第一代的全自动化突破，到现在由超导磁场匹配、CCD视频检测等多项创新技术加持的第四代全自动智能化升级。

从横向看，晶盛机电又瞄准“大尺寸半导体级硅单晶生长设备的关键技术”进行持续攻关。其中以承担国家科技重大02专项半导体装备课题中的“300mm硅单晶直拉生长设备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”为契机，公司在国内率先实现了8-12英寸大硅片制造用晶体生长及加工装备的国产化。

值得一提的是，晶盛机电在“拳头产品”单晶炉之外，还相继开发出具有完全自主知识产权的多晶铸锭炉、蓝宝石炉等晶体生长设备，并延伸至晶体加工、光伏电池和组件等领域，形成了半导体材料从生长、切片、抛光到外延功能的装备格局。

而在背后作为重要支撑的是一支以教授、博士为核心的技术研发与管理团队。据了解，在晶盛机电如今近3000名员工当中，研发人员就有400余人。他们分布在3个国内研发中心、1个海外研发中心，以及院士工作站、博士后工作站、省级重点企业研究院等研究平台。