国产替代计划开启欧美垄断芯片关键材料，中国

在半导体、微电子等高端科技行业，有一类特殊的气体起着至关重要的作用，而且这种气体的纯度是否能够达到极致，关系着电子产品的性能、后续生产线能否正常运转等等。这类特殊气体有着一个概括的名字——电子特气。随着全球半导体产业链逐步向中国进行集中，如何将这类气体实现国产化生产，对中国半导体行业的发展极为重要。

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半导体电子行业的特种气体有何作用？

电子特气作为半导体电子行业应用的特种气体，向来被称之为电子行业的“血液“，其被广泛运用于半导体各种制造工艺过程当中。在半导体芯片的几大制造步骤中，如刻蚀过程、掺杂过程和清洗过程等等，不同阶段都要用到不同的电子特气，在适当的气体环境中达到极佳的制造精确度、电子误差和纯度等等，最终制成一片性能最佳的芯片。而对电子特气的关键要求就是极高的纯度，如果工艺加工过程中所用的电子特气纯度不达标，就会造成电子产品的各种缺陷。

电子特气全球市场份额几乎被欧美占据

目前整个半导体行业当中总计有110多种特种气体，其中有30多种被作为半导体的重要原料。当今全世界电子特气的龙头市场被欧美牢牢掌控，几乎近94%的市场份额被美国空气化工、普莱克斯以及德国林德、法国液化空气和日本太阳日酸等企业占有。在国内电子特气市场上，约85%的份额同样被这些巨头占据。由于在半导体行业当中，电子特气是继硅之后的重要成本材料。以及我国在半导体行业的投资比重加大，包括芯片在内的电子器件都要提高国产率，所以电子特气也必须跟上。

筹备3387亿资金扶持半导体和材料等行业

基于种种现状我国在2014年专门成立了集成电路投资基金，其第二批基金近2000亿于去年到位，总共筹备了3387亿以扶持半导体和材料行业的发展。而在电子特气的研究制取上，国内一家名为昊华科技的公司接连取得突破，其在四氧化二氮、高纯硫化氢和三氟化氮等电子特气上，已经掌握完备的制取方法。而且在4N高纯硒化氢气体制取上，已经成为了国内首家也是唯一一家能批量生产的公司。在中国半导体高端电子特气的制取上，昊华科技堪称国产电子特气的先驱者。

国产电子特气的研发制取正在逐步攻克当中

随着集成投资基金会扶持力度的加大，以及有关部门各种政策的实施，目前我国在高纯度的氖气、砷烷和笑气上均能自主制取。截止到去年年底，在半导体行业所用的电子特气上，中国已经实现了35%种类气体的自主化制取，还有35%逐步在研制当中，也就是说仅剩30%类别的气体尚未实现本土化。中国在此前以高于现有国产气体两到三倍的价格进口国外电子特气，造成了我国集成电路行业的竞争力较低，而随着国产电子特气的逐步突破，中国的国产替代计划也必将迎来春天。

文章来源：《功能材料与器件学报》 网址: http://www.gnclyqjxb.cn/zonghexinwen/2021/0305/448.html